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产品分类
产品简介
产品特点
● 适用于宽2000mm以内玻璃片的显影清洗工艺；
● 产品主机由上料单元、显影单元、清洗单元、风干单元、下料单元组成；
● 设备支持SEMI GEM标准；
● 采用多种安全保障措施和安全装置；
● 采用电脑自动控制系统,工艺菜单可根据需求进行修改并可保存多个菜单，工艺全过程直观、全面显示，互动性强；
● 系统控制全面、抗干扰性强、可靠性高、维修方便，具有故障提示和安全报警功能；
● 设备运行稳定、可靠、集成度高，结构合理紧凑，操作方便；
● 可根据客户工艺制程特殊需求进行定制化服务。
功能简介 | 规格与说明 |
晶片尺寸 | 长1500mm宽2000mm以内 |
设备产能 | 依工艺条件而定 |
衬底材质 | 玻璃 |
适用工艺 | G-line |
应用领域 | 大尺寸显屏 |
FFU | 配置FFU洁净系统， 确保洁净度达标 |
电机 | 采用高精度伺服电机 |
显影 | 配置高压喷射装置 （压力可根据制程要求设置） |
清洗喷嘴 | 采用星状分布喷嘴 |
风干 | 配置正反面自研风刀式干燥氮气吹扫， 效率更高 |
流量计 | 按客户工艺要求选配 |
控制系统 | 工控机、 17“触摸屏 （可按客户需求配置） |
操作系统 | WINDOWS、图形化人机界面、可编程 |
通讯与信息化 | 以太网、配有SECS/GEM适配模块、提供现场通讯对接 |
厂务 | 标配水、电、气、液I/O接口 |
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