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产品分类
产品简介
产品特点
主要用于去除晶圆表面有机物、氧化层、颗粒、金属，清洗过程搭配兆声波、IPA干燥，达到一个良好的验收指标。排风口：通过外径为 φ270mm 的法兰与用户生产线上的通风系统相连接，以排出挥发的废气。
功能简介 | 规格与说明 |
晶片尺寸 | 2、4、 5、6、8、 12吋 |
处理能力 | 1篮/批， 2篮/批， 25片/篮 |
槽体功能 | 循环、过滤、加热、超声、兆声、抛动、干燥 |
工艺槽体 | 石英、 PVDF、 PTFE、SUS316L、 NPP； |
管路选配 | PVDF、 PFA、 PP、CL-PVC |
兆声波选配 | KAIJO/Branson |
循环泵选配 | IWAKI/Pillar/Trebor |
过滤器选配 | 美国PALL、美国Entegris、科百特等 |
阀门选配 | CKD、Gemu、 Kitz、SMC、SEBA等 |
触摸屏选配 | PROFACE、三菱、SIEMENS、OMRON |
PLC选配 | 三菱、SIEMENS、OMRON |
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