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产品分类
产品简介
应用领域
● 适用各类掩膜版（9吋/7吋/5吋）
● 适用各类石英管/炉管
● 适用于各类花篮/零部件
● 依客户需求定制
产品优势
● 清洗药液独立控制，无交叉污染
● 喷嘴药液流量精确控制系统
● 自动换液，补液
● 加热控制，浓度控制，流量控制，压力控制，过温保护，漏液检知等
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