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产品分类
产品简介
功能简介 | 规格 |
整机尺寸（约） | 2700mm（ W ）*2400mm（ D ）*2100mm （ H ） |
整机重量（约） | 2500KG |
基片尺寸规格 | 8 寸: φ200±0.1mm ，翘曲≤100um |
基片材质 | 硅 ，厚度： 750um， 带 notch |
8 寸 | φ200±0.1mm ，翘曲≤500um |
基片材质 | 硅(taiko wafer ) ，厚度： 中间 60um,边缘750um（宽 3.5-4.5mm ） ， 带 notch |
工艺流程 | 花篮取片→对中→AD→冷盘→对中→ 喷胶→热板→花篮放片 |
外壳 | 不锈钢 ，光滑 、耐腐蚀 、易清洗 |
管 路 | 采 用 PU 与 PFA配 套使 用 管路 |
工作照明 | 机台顶部配防腐黄光照明 |
触摸屏 | 17 寸全彩触摸屏 |
黄光灯 | 5套 |
FFU | 百级， 5 套（ 工艺单元及 ROBOT 区域） |
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