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产品分类
产品简介
产品参数 | |
可处理基片尺寸 | ≤300mm |
转速范围 | 20-5000rpm |
转速分辨率 | 1rpm |
加速度可调范围 | 20-10000rpm/s |
单步时长 | ≤3000s |
均匀性数据 | |
4寸晶圆 片内： ±0.58% 片间： ±0.20% 膜厚： 1470nm 胶液： AZ1500(20CP) | |
6寸晶圆 片内： ±0.72% 片间： ±0.89% 膜厚： 1320nm 胶液： AZ1500(20CP) | |
8寸晶圆 片内： ±0.60% 片间： ± 1.32% 膜厚： 2260nm 胶液： AZ1500(20CP) | |
12寸晶圆 片内： ± 1.10% 片间： ±0.68% 膜厚： 490nm 胶液： AZ1500(4.4CP) | |
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