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产品分类
产品简介
产品特点
● 适用于12、8吋晶圆的显影工艺；
● 产品由上料单元、传送单元、显影单元、控制系统单元组成；
● 设备支持SEMI GEM标准；
● 采用多种安全保障措施和安全装置；
功能简介 | 规格与说明 |
晶片尺寸 | 12吋、兼容8吋 |
设备配置 | 2C2D、4C、4D |
设备产能 | 依工艺条件而定 （伺服电机完全可满足ARM转送速度要求） |
衬底材质 | Si、Glass、Sapphire、GaAs、 InP、GaN、SiC等 |
适用工艺 | G-line、i-line、 Pl |
应用领域 | 功率器件、光通讯、科研、 LED、射频集成、 MEMS等 |
显影电机 | **转速6000rpm、**加速度3000rpm、精度±1rpm 、水冷 |
流量计 | 按客户工艺要求选配 |
控制系统 | 工控机、 17“触摸屏 （可按客户需求配置） |
操作系统 | WINDOWS、图形化人机界面、可编程 |
通讯与信息化 | 以太网、配有SECS/GEM适配模块、提供现场通讯对接 |
厂务 | 标配水、电、气、液I/O接口 |
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